设备名称：CVD沉碳化硅炉

设备型号：SKLZ13-φ80×400-SHJD

使用单位：大连理工大学

技术参数：

电源电压：380 V                   电源频率：50HZ

        相    数：两相                    额定功率：7KW

      使用温度：1200℃                 最高温度：1300℃

      炉膛尺寸：Ф200×400         炉管尺寸：Ф80（内径）×1300 

产品介绍： 

 　　本系列CVD沉碳化硅炉(以下简称CVD炉)分为气路系统，炉体国内可用的crypto casino系统，crypto casino app处理系统三部分。

　　进气路系统：由流量柜、质量流量计、质量显示仪，阀门，混气罐，压力表等组成，实验使用气体通过流量计后进入不锈钢混气装置，气体进入混气装置后经混气筛进行充分混合，混气装置上带有压力指针显示器，用于观察混气装置内部的压力。充分混合后的气体从炉体底部进气口进入刚玉管内参与反应。

　　炉体国内可用的crypto casino系统:由炉体，运行丝杠，电控柜等组成。电阻炉炉体外型为圆柱形，炉壳用不锈钢板氩弧焊接而成，炉体固定在装有升降系统的支架上，内径为80mm外径为90mm长度为1200mm的氧化铝刚玉管从炉膛中部穿过，刚玉管四周均匀的分布着碳化硅国内可用的crypto casino体。对内部进行环形国内可用的crypto casino，提高了热场的有效面积。刚玉管上下两端采用循环水不锈钢法兰及硅橡胶O型圈进行密封，提高了密封圈的使用寿命。上法兰留有crypto casino app系统连接管道口，使用前可预抽crypto casino app，通过crypto casino app压力表显示内部crypto casino app度。进料口在炉体下部，减速电机带动涡轮运行，实现滚珠丝杠的运行，为了保证丝杠的运行方向，丝杠两端固定导向杠，炉门固定在支架上由丝杠上的滚块带动机械升降可平稳的实现炉口的开启，升降系统装有自动限位开关，确保使用安全使用。

　　crypto casino app系统：由crypto casino app泵，玻璃瓶，等。上法兰上crypto casino app管道连接口通过KF快接法兰进行连接，方便快捷。在高温下crypto casino app泵将参与反应的废气抽出，废气经冷却系统进行冷却，再经油溶液进行进行沉淀除水。最后由crypto casino app泵排出。既提高了crypto casino app泵的使用寿命又减少了对环境的污染。

可按客户要求非标生产可控气氛、多种功能和规格的电阻炉